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結構簡單，布局緊湊：外形尺寸小，占地面積少，運行穩(wěn)定，操作方便，運行、保養(yǎng)和維修成本較低。

工作無油：泵腔體內(nèi)無潤滑介質(zhì)，內(nèi)部無油，不耗油，無滴漏，不用擔心高真空狀態(tài)下油氣返流至客戶端，無油氣和油霧排放，可獲得潔凈真空，可抽含有少量小顆粒的空氣，轉(zhuǎn)子不易磨損，運行平穩(wěn)，使用壽命長。可抽可凝性氣體。轉(zhuǎn)子有防腐涂層，不易腐蝕。

水冷設計：干式螺桿泵采用水冷設計，提高冷卻效率，降低真空泵溫度。

真空度高，抽速大：前級泵為干式螺桿泵，采用專為其開發(fā)的轉(zhuǎn)子型線，型線密封好，變螺距轉(zhuǎn)子，結構更復雜，精度更高，可高速運轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子無接觸，無需潤滑介質(zhì)，極限真空度高。在接近極限真空度的過程中，抽氣速率會不斷降低，這時作為主泵的羅茨泵發(fā)揮其優(yōu)勢，為機組提供抽速，在高真空區(qū)域也可保證較大抽速，能耗較小。